温度控制
- 0.1% 的精度、0.25µV 的分辨率
- 多个 PID 集
- 60 个设定点模式
- 16 个程序事件输出
- 负荷热电偶
通过趋势图用户可以查看每个控制回路的过程变量和设定点的当前信息和历史信息。
2704VC 用户界面使用户编辑、选择和运行程序十分简单易行，所有程序都可拥有一个具有含义的名称。
真空计
- 自动选择高/低真空计
- 6 个设定点输出
- 粗抽泵超时
- 高度真空启用输出
- 泄露探测
2704VC 能够直接与主动式真空计连接，该真空计输出信号的范围为 0-10V 直流。已为很多行业标准真空计创建了专用的线性表格，可在提出请求后创建其他线性表格。
两个输出用于高和低主炉腔真空，第三个输入可用于如前级或回填这样的输入。真空输入的总数可达到五个。
炉式真空计之间的切换自动进行且无冲击。为防止损坏高度真空计，达到预设真空水平后才会通电。可提供六个真空设定点输出，每个输出都可以操作任何真空计。
粗抽泵启动时，也会启动诊断计时器。如果在指定时间内前级真空未达到预设真空水平，该诊断计时器会生成输出。同时也会实现泄露探测例行程序。
